凈化工程無塵車間排風(fēng)裝置的分類及處理設(shè)備
      在微電子生產(chǎn)用無塵車間和藥品生產(chǎn)用無塵車間中，常常會在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用或產(chǎn)生某些特定的酸性或堿性物質(zhì)、有機(jī)溶劑和氣體;在致敏性藥物、某些甾體藥物、高活性藥物和有毒性藥物生產(chǎn)過程中還會有相應(yīng)的有害物質(zhì)排出或滲人無塵車間內(nèi)。對于上述無塵車間，在可能排出各種有害物質(zhì)、氣體或粉塵的生產(chǎn)工藝設(shè)備或工序處應(yīng)設(shè)置局部排風(fēng)裝置或采取全室排風(fēng)裝置。按生產(chǎn)工藝過程排出的廢氣的種類，可將排風(fēng)裝置(系統(tǒng))大體劃分為以下幾種類型:
      (1)一般排風(fēng)系統(tǒng)在生產(chǎn)輔助用室和生活用室， 如值班室、衛(wèi)生間等排出的一般廢氣，大多數(shù)情況下不需要進(jìn)行特殊處理即可直接排人大氣。
      (2)有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)在產(chǎn)品生產(chǎn)中使用某些有機(jī)物質(zhì)、溶劑作為原輔材料或清洗劑時，都將會在相關(guān)的場所或設(shè)備處散發(fā)有機(jī)物質(zhì)、溶劑的氣體，對這類場所或設(shè)備均應(yīng)設(shè)置排風(fēng)裝置。在一.般情況下，有機(jī)排風(fēng)系統(tǒng)中的有機(jī)氣體濃度是很低的，若能達(dá)到國家規(guī)定的大氣排放標(biāo)準(zhǔn)時，可直接排人大氣，不需設(shè)置廢氣處理裝置;當(dāng)排風(fēng)系統(tǒng)中有機(jī)氣體濃度超過規(guī)定時，應(yīng)設(shè)有機(jī)氣體排放裝置，經(jīng)過處理達(dá)標(biāo)后才能排人大氣。有機(jī)氣體排氣的凈化處理方法有活性炭吸附法、吸收法和催化燃燒法等?；钚蕴课椒ㄖ饕糜谥行×髁康牟缓蹓m、膠粘物質(zhì)的苯類和汽油類有機(jī)氣體排氣的處理;吸收法設(shè)備簡單，耗能低，但吸收效率不高;催化燃燒法主要用于較高濃度的苯類、醇類、脂類和汽油等有機(jī)氣體排氣的處理。有機(jī)氣體排氣處理裝置應(yīng)根據(jù)排風(fēng)系統(tǒng)所含有機(jī)物質(zhì)的品種、濃度等情況選用。
        (3) 酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)濕法化學(xué)腐蝕、 酸液清洗實驗室內(nèi)均有酸性氣體排出，在這類酸性氣體的排風(fēng)系統(tǒng)通常設(shè)有濕式洗氣吸收塔，處理后排人大氣，圖5-14所示是幾種吸收式洗氣塔的形式。實際設(shè)計時應(yīng)根據(jù)酸性氣體的類型、濃度選用合適的吸收液和吸氣塔的形式。
      (4)堿性氣體排風(fēng)裝置若排風(fēng)系統(tǒng)氣體中含有堿性物質(zhì)或排 氣中混有堿性化學(xué)試劑時，與酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)類似，通常采用濕式洗氣吸收塔處理后排人大氣。近年來，由于大氣排放標(biāo)準(zhǔn)越來越嚴(yán)格，含有堿性物質(zhì)(或酸性物質(zhì))濃度較低的排氣也應(yīng)進(jìn)行凈化處理才能達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。為此，可采用專用吸附劑對堿性排氣(或酸性排氣)進(jìn)行處理達(dá)標(biāo)后再排人大氣。此種吸附劑一般為- -次性的，使用后應(yīng)進(jìn)行集中處理,通常作為固體廢棄物在城市垃圾場集中處理。
      (5)熱氣體排風(fēng)系統(tǒng)  生產(chǎn)過程中的各種爐子、高溫滅菌設(shè)備等均有熱氣排出，由于排氣溫度較高，有時可采用熱回收等方式進(jìn)行處理，若排氣量較小或不便進(jìn)行處理時，可在采取必要的隔熱措施后直接排人大氣。
      (6)含粉塵的排風(fēng)系統(tǒng)產(chǎn)品品種不同，生產(chǎn)工藝過程不同，排氣中的粉塵性質(zhì)也不同。應(yīng)根據(jù)排氣中的粉塵性質(zhì)、濃度選用不同類型的除塵裝置，一般采用布袋除塵器或帶過濾元件的過濾除塵裝置。如圖5-15所示是一種帶過濾元件的過濾除塵裝置，此類裝置都可以采取拍打反吹或更換過濾元件的方式，使除塵裝置能較長期地使用。對于某些含塵濃度很高的排風(fēng)系統(tǒng)，根據(jù)工藝具體情況，有時尚需設(shè)置二級除塵裝置，先將大部分粉塵去除后再送人前述的布袋除塵或過濾除塵裝置，才能滿足大氣排放標(biāo)準(zhǔn)的要求，從而保證系統(tǒng)穩(wěn)定，經(jīng)濟(jì)地運(yùn)行。